期未報告-沸石轉輪系統遭悶燃後之效能與材料特性分析

摘要 沸石轉輪系統可穩定處理高流量低濃度揮發性有機氣(volatile oraganic compounds，VOCs)，且能維持高VOCs去除效以符合法規要求，是目前國內半導體及光電業最廣泛用以控制VOCs之污染防制設備。當沸石轉輪系統處理含有大量高沸點物質VOCs若以加高脫附附溫度做為有效脫附高沸點物質之程序時，若無良好操作維護措施則可能造成整體系統當機，進一步在沸石轉輪匣內造成嚴重之悶燃現象。本篇報告為研究以某座遭悶燃之沸石轉進行採樣探討是否仍具VOCs吸附效能，並藉由材料分析瞭解遭悶燃後物性變化情況。 參考文獻 1. 白曛綾、李谷蘭、楊泰辰、黃文賢、林育旨、園區半導體製造業廢氣處理及排放調查研究，新竹科學園區管理局，2000。 2. 林育旨、白曛綾、張豐堂，半導體及光電產業現行揮發性有機廢氣控制設備之選用評估，工業污染防治季刊。89期，pp.23-31，2004。 3. 張豐堂、沈克鵬、黏愷峻、陳見財、林華宇、陳良華，光電業沸石轉輪焚化系統效率提升實廠改善案例，工業污染防制，93期，pp.53-76，2005。 4. 張豐堂、林育旨、白曛綾、白寶實，蜂巢狀濃縮吸附沸轉輪受高沸點去光阻劑之影響與預防措施，第十八屆空氣污染技術研討會，吸附相關研究議程，光碟版，2001。 5. Gupta, A;Cromptaon D, Choosing the right Adsorption Medium for VOC control,Metal Finishing,Vol.91(11).pp68-72,1993.